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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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手套箱的核心技术是什么

手套箱是一个要把箱体内的气氛与空气完全隔绝的系统。箱体外空气中氧气的含量大于20％或 200000 PPM（百万分之一），而箱体内的氧气含量小于1PPM，手套箱内外氧气浓度相差近一百万倍，微小量的空气泄漏入手套箱，将对手套箱内的氧含量造成很大的 影响。因此，密封对手套箱是至关重要的，是手套箱核心的技术。2、人机对话：配置彩色触摸屏，中文界面，实现人机对话，操作便捷3、自动控制（由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制）实现功能：手/自动控制箱体压力。

手套箱上有很多连接处和橡胶手套，少量空气泄漏入手套箱内是在所难免的。另外，在使用手套箱时，转移入手套箱的物料也不可避免要带入少量水和氧。还有，手套箱使用的工作气中也含有几个甚至几十个PPM的水氧。所有这些杂质，都是气体净化系统循环同时除去的。箱体及大小过渡舱使用304不锈钢板，前视窗为钢化玻璃，耐磨防腐蚀。

由此可见，手套箱的核心技术是密封和气体纯化效率。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；将化学实验中产生的污染气体进行净化后再排至下水道中，克服了以往通风装置只通风不净化的弊病，避免了大气环境的污染。在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。